三星(中國)半導體
本項目位于陜西省西安市西太路綜合保稅區(qū)三星半導體廠區(qū)內
項目工期:2019.12.18-2020.7.30
項目簡介:
在半導體凈化車間裝修時,根據(jù)行業(yè)不同,車間操作不同來劃分等級來裝修的。其中在半導體集成電路生產(chǎn)的光刻工序中,硅片露出在生產(chǎn)環(huán)境中,污染概率很高時元器件的廢品率也會很高,所以為避免出現(xiàn)這種傷害,現(xiàn)階段在超大規(guī)模半導體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環(huán)境,把加工工藝核心區(qū)隔離,在微環(huán)境的隔離區(qū)內做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定(M度、相對濕度、壓力)。工作區(qū)域是由人和/或自動處理設備對晶片開展加工的區(qū)域,為保障作業(yè)區(qū)域內產(chǎn)品免被污染,一般選用單向流或微環(huán)境把人和露出的產(chǎn)品隔離。